像差从很早以前就用于将光作为光线考虑的“几何光学＂中。在显微镜光学系统中，通常用于观察波长微小的样本，所以包括衍射影晌的光线都作为“波”来考虑，并使用了能对应波相位的“波动光学”。这时的评价方法使用“波像差”。如下图所示在显微镜光学系统中满足了理想的成像条件时，由标本上的某一点发出的球面形状的波面(球面波)。能在通过理想的物镜后变成平面波。平面波再通过理想的成像透镜转变成球面波，聚光于成像面上的一点。这样的波面称为“理想波面”。

  下图以(1)球面像差部分使用的示意图为基础，表明了在有像差的光学系统中的波面振动。

  上图中理想波面与实际波面的偏移(偏离状况)称为“波像差”。