透射电子显微镜的介绍及应用
文章出处:网责任编辑:作者:人气:-发表时间:2017-01-11 10:59:00
工业中常用的电子显微镜有透射电子显微镜和扫描电子显微镜,今天沃德普仪器就给大家介绍一下透射式电子显微镜的相关介绍及应用,希望能帮到您更好的了解工业显微镜并运用。
透射电子显微镜的成像原理就是以波长极短的电子束作为赵明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。
透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪,电子由钨丝热阴极发射出,通过第一、第二两个聚光镜使电子束聚焦。电子束通过样品后由物镜成像与中间镜上,再通过中间镜和投影镜逐级放大,成像于荧光屏或照相干版上。中间镜主要通过对励磁电流的调节,放大倍数可以从几十倍连续地变化到几十万倍,改变中间镜的焦距,即可以在同一样品的微小部位上得到电子显微镜像和电子衍射图像。
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜,电子束的波长要比可见光和紫外光短得多,并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。
透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:
1.吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
2.衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
3.相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
透射电子显微镜应用很广泛,在材料学上应用较多,因为电子易散射并且容易被物体吸收,所以,穿透力会比较低,因此,检测的样品密度,厚度等因素都会影响到成像的质量,沃德普电子显微镜采用ZOOM光学变焦系统,图像无拖尾现象、产品色彩真实、使用范围广泛,无须与PC连接,可直接连接液晶显示器,观看视频图像。
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