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  • 产品名称:MX6R微分干涉显微镜
  • 产品型号:MX6R系列
  • 所属分类:工业微分干涉显微镜
  • 发布时间:2013-04-22浏览次数:

灵活的系统组合、卓越的成像性能、稳定的系统结构,MX6R系列专业应用于工业检测及金相分析领域。 

各项操作根据人机工程学设计,大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。 

 


性能特点

 

■ 采用无限远色差校正光学系统

■ 长工作距、明暗场两用平场消色差物镜,成像清晰、像面平坦

■ 配备反射式柯拉照明系统,为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明

■ 正像三通观察筒,25°倾斜,极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性

■ 配备了4寸带离合器的机械平台230X215mm,行程105mmX105mm,可快速移动

■ 舒适人机学设计,高刚性镜筒,“Y”型底座,调焦机构采用前置式操作控制,精微调同轴

■ 光源采用宽电压数字调光技术,具有光强调定与复位功能

■ 可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件,拓展应用领域

 


技术参数

 

   

   

型号

MX6R

MX6R(透反)

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方法

明场/斜照明/偏振光/DIC

明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光

观 察 筒

正像观察筒,25°铰链式三目,分光比,双目:三目=10000100

   

PL10X/22平场高眼点目镜

转 换 器

5孔内倾式明暗转换器,带DIC插槽

   

无限远长工作距明暗场金相物镜5X    LMPL5X /0.13    WD11mm

无限远长工作距明暗场金相物镜10X   LMPL10X /0.25   WD9.5mm

无限远长工作距明暗场金相物镜20X   LMPL20X /0.4    WD3.4mm

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X LMPLFL50X /0.6 WD7.5mm

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜100X  LMPLFL100X /0.80   WD2.1mm (选配)

调焦机构

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出

载 物 台

4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围:105X105mm,金属载物台板,右手位XY移动手轮,配平台接口

4英寸机械移动平台,低手们粗微同轴调节,平台面积230X215mm,移动范围:105X105mm,玻璃载物台板,右手位XY移动手轮,配平台接口

显微镜镜体

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,路电源输出

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,路电源输出

反射照明系统

带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆,12V100W卤素灯,光强连续可调

偏光附件

检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路

CTV接口

1X(标配)、1/2X(选配)

透射照明系统

/

单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑

 


宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。

 

 

 

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。

 

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

 

 

安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

 


明场观察(透射) 

5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光镜,可以透照明下,观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。

透射照明与反射照明为独立控制,即可同时亮,也可单独亮。

明场观察(反射)

远心坷拉反射照明系统,配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。

简易偏光观察

将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的指定位置,即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。

暗场观察

将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷,暗场功能只限于MX6R/MX6R(透反)机型。

DIC微分干涉观察

在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜,即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术,可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。

5X、10X、20X专为DIC设计,使得整个视场的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。

微分干涉显微镜MX6R
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